M,XL,インライン

基板外観検査装置ESV-7000は、画像認識タイプのバッチ式外観検査装置です。

Mインライン

上下にカメラユニットを配し、ワーク両面を同時に検査します。

ラインカメラを使用し、スキャンしながらワークの画像検査を行います。

Mバッチ,Mインライン

ワーク上の異物検出に特化した画像検査装置です。

超微細目視支援装置ESR-6000(以下、本装置)は、高倍率の顕微鏡を使用して目視するターゲットに焦点を当てた目視支援装置です。

200,400,600

メタルマスク・乳剤マスクの製版パターン形状をガーバデータと比較し、画像検査します。

ガラス上に多層フォトレジスト加工された微細パターン(パターン幅3μ)を画像検査します。